5月30日下午，大连理工大学物理学院副院长高飞教授为我校学生作了主题为“芯片制造中的等离子体物理”的讲座。大连理工大学物理学院党委副书记、副院长周福良教授，副院长杨德正教授一同来校交流。

高飞教授从以下四个方面介绍了等离子体物理在芯片领域的研究和应用：1. 等离子体概念；2. 芯片是如何制造的；3.芯片制造中等离子体技术；4. 大连理工大学的等离子体研究。同学们饶有兴趣，认真聆听，积极参加互动提问。结语时，高教授鼓励同学们现在要努力学好每一门功课，夯实基础、增长才干，将来为“中国芯”贡献自己的智慧和力量，助力中国科技领跑世界！

高飞教授简介：教授/博士生导师，大连理工大学物理学院副院长，三束材料改性教育部重点实验室副主任，射频等离子体物理团队负责人（大连理工大学青年科技创新团队），大连市高端人才、大连理工大学人才培育计划“星海优青”入选者，曾获大连市科学技术一等奖（第一获奖人）。主要从事射频等离子体物理基础及应用技术研究。面向国家重大需求和大科学工程实验装置，针对等离子体刻蚀机、等离子体辅助增强化学气相沉积和射频负氢离子源，采用理论分析、实验诊断和数值仿真模拟的方法研究射频等离子体产生机理及探究提高等离子体品质的装备设计和工艺方法等。

初审：赵雪卿

二审：李超进

终审：杨  剑